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        Park NX20 300mm原子力顯微鏡

        簡要描述:Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業界創新型大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計,可有效地檢測整個300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺,但Park的創新性振動隔離技術仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS,通常是0.3 Å RMS的水平。

        • 更新時間:2023-10-30
        • 廠商性質:經銷商
        • 訪  問  量: 263

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        詳細介紹

        Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業界創新型大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計,可有效地檢測整個300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺,但Park的創新性振動隔離技術仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (?) RMS,通常是0.3 ? RMS的水平。


        可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

        ·支持200mmx200mm300mmx300mm的全自動原子力顯微鏡

        ·無需手動移動樣品即可實現樣品上每個點的精密測量

        ·Park NX20300 mm是專為失效分析和質量品控設計

        ·工業測試軟件可以實現樣品的全自動化批量測量,使得NX20檢測過程變得高效易用



        專為大樣品晶圓檢測而建

        NX20 300 mm進行了全新設計,可達到大樣品的高精度測量。整個300mm晶圓區域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍,讓工程師可以更快捷、更簡便、更精準地開展工作。


        靈活的300mm樣品吸盤

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        Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓,讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品。


        300mm XY軸工作臺

        nx20-300mm-sample-chuck-2.jpg


        機動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區域內移動原子力顯微鏡的測量位置。


        針對廣泛應用性進行優化

        Park NX20 300mm原子力顯微鏡為眾多應用提供自動格式的原子力顯微鏡測量,為納米級的樣品提供精準測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量,缺陷檢查,電氣和磁故障分析,熱性能表征和納米力學性能成像等能力,該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執行各種任務的理想選擇。

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